ASML:n teknologiajohtaja maalaa synkkää kuvaa seuraavien sukupolvien tuotantoprosessien hinnoista
ASML:n mukaan EUV-skannereita seuraavat high-NA-skannerit tulevat nostamaan hintoja ja käyttökuluja merkittävästi ja niitä seuraavat saattavat olla jo liian kalliita toteuttaa paitsi tuotannon, myös itse skannereiden osalta.