Canon aikoo haastaa ASML:n EUV-valotuslaitteet uudella NIL-laitteistollaan

1.2.2024 - 02:48/ Petrus Laine Kommentit (1)

NIL- eli Nanoimprint Litography perustuu täysin eri teknologiaan, kuin perinteisemmin käytetyt optiseen litografiaan perustuvat DUV- ja EUV-laitteet.

Lue lisää